AG亚游集团机械：多晶硅还原炉倒棒的危害

    多晶硅倒棒,是指从还原炉内硅芯表面开始发生气相CVD沉积反应至预期直径的产品硅棒出炉的过程中,硅芯缓慢发生倾斜或头重脚轻或操作不当导致多晶硅棒在炉内最终倒塌断裂的生产现象。

    多晶硅还原炉生产中发生倒棒现象是多晶硅生产企业所不愿看见的,特别是大型还原炉(18对棒/24对棒),还原炉的倒棒将会造成一系列的危害:使企业的实际产量和效益降低、设备受损及增加操作工人的劳动强度等。

    若还原炉倒棒发生在硅棒沉积的开始阶段,只需按照停车步骤将整个还原炉系统停车后,待炉内达到开炉条件状况下,拆卸并重新安装硅芯,进行下一个生产周期的操作。

    若倒棒发生在后期即将停炉阶段,炉内的倒棒将导致较为严重的后果。此时硅棒直径较大,在炉内的倒塌使得炽热的硅棒在侧倒过程中砸向钟罩炉子内壁,使得炉子的内壁遭到严重破坏,同时还可能使炉子的电极受到外力的破坏,更换电极,需要耗费大量的人力物力,而且会耽误大量的工作时间,进而导致巨大的经济损失,甚至还有可能造成意外事故及人身伤害。